반도체 세정 공정은 단순 세척이 아니라 수율과 신뢰성을 좌우하는 핵심 단계입니다. 이번 포스팅에서는 코미코, 한솔아이원스, 제우스, 케이씨텍, 엘티씨 등 국내 대표 세정 밸류체인 기업들의 사업 구조와 경쟁력, 투자 포인트를 정리 했습니다.
반도체 세정 공정 개요
반도체 제조 과정은 수백 개에 달하는 미세한 공정을 통해 웨이퍼 위에 회로를 형성하는 고난도의 기술 집약 산업입니다.
이때, 각 공정 단계마다 발생하는 파티클(미세먼지), 금속 이온, 유기물 잔사, 자연산화막 등은 그대로 두면 불량을 유발하고 수율을 떨어뜨리게 됩니다. 이를 제거하기 위해 필수적으로 수행되는 과정이 바로 세정(Cleaning) 공정입니다.
세정 공정은 단순히 오염을 씻어내는 수준을 넘어, 웨이퍼 표면의 화학적·물리적 상태를 최적화하여 다음 공정이 안정적으로 진행될 수 있도록 돕는 역할을 합니다.
즉, 세정은 “공정 사이의 연결 다리이자, 최종 수율을 결정짓는 핵심 관리 포인트”라고 할 수 있습니다.
주요 세정 방식
- 습식(Wet) 세정
- 가장 보편적인 방식으로, 화학 용액(SPM, SC1, SC2, HF 등)을 활용해 오염을 제거합니다.
- 메가소닉(고주파), 브러시, 제트 분사 등을 병행해 효과를 높입니다.
- 건식(Dry) 세정
- 플라즈마, 오존, CO₂ 드라이아이스 등 기상 또는 초임계 상태를 활용합니다.
- 패턴 손상에 민감한 선단 공정에서 중요성이 커지고 있습니다.
- 초임계(Supercritical) 세정
- 초임계 CO₂ 등을 이용해 미세 패턴 내부의 잔사까지 제거할 수 있는 첨단 기술로,
- HBM·3D 패키징 같은 고집적화 패키지 공정에서 각광받고 있습니다.
세정 공정의 중요성
- 결함 감소: 불량을 유발하는 파티클 제거
- 전기적 특성 안정화: 금속·유기물 오염 제거로 전기적 성능 유지
- 수율 향상: 미세화될수록 세정 공정의 비중과 횟수가 증가
- ESG 기여: 부품 재사용, 친환경 세정 기술은 폐기물과 화학물질 사용을 줄여 지속 가능성을 높임
밸류체인과의 연결
세정 공정은 장비, 소재, 부품, 서비스가 모두 맞물려 작동합니다.
- 장비 기업: 제우스, 케이씨텍처럼 싱글/배치형 세정 장비를 공급
- 부품 세정·코팅 서비스 기업: 코미코, 한솔아이원스처럼 챔버·샤워헤드 등 주요 부품을 세정/코팅해 수명 연장
- 소재 기업: 엘티씨처럼 박리액·현상액 등 화학 약액과 공급 시스템을 제공
결국 반도체 세정은 “공정 최적화의 숨은 주역”으로, 미세화와 고집적화가 심화될수록 그 중요성이 더욱 커지고 있습니다.
세정공정 기술·시장 트렌드
- 세정 공정 단계의 증대
- 마스크 수 증가·EUV 공정 확대로 세정이 더 자주, 더 까다롭게 들어갑니다.
- 레거시 레시피(SPM, SC1/SC2, HF Last 등)와 메가소닉/브러시/초임계의 하이브리드 운용이 일반화됩니다.
- SPM(H₂SO₄:H₂O₂)는 유기물 제거, SC1(NH₄OH:H₂O₂)는 파티클·유기물, SC2(HCl:H₂O₂)는 금속오염 제거에 주로 쓰입니다.
- 레시피·온도·시간·플로우는 공정별로 정밀 제어합니다.
- 싱글 vs 배치의 최적화
- 선단 노드·고민감 공정은 싱글형(레시피 정밀 제어),
- 대량 양산·코스트 영역은 배치형(스루풋)으로 분화.
- 부품 리유즈·코팅과 ESG
- 챔버·샤워헤드 등 고가 부품의 정밀세정+특수코팅으로 수명 연장,
- 비용·폐기물·탄소 절감. 코미코·한솔아이원스가 강점입니다.
- 패키징·고집적화→초임계·신케미컬
- HBM·첨단 패키징으로 미세 캐비티 잔사 제거 필요성 ↑.
- 초임계 CO₂·신규 용제와 워터마크 프리 건조가 경쟁 포인트가 됩니다.
반도체 세정 공정 밸류체인
1) 코미코(KoMiCo) — 정밀세정·특수코팅 ‘서비스 플랫폼’의 표준
기업개요
코미코는 국내 최초로 반도체 부품 정밀세정·코팅을 사업화해 글로벌 라인업을 구축한 기업입니다.
세정과 특수코팅, 전문 분석(공인 인증)까지 아우르는 부품 라이프사이클 관리를 제공하며, 반도체·디스플레이 고객 기반을 확대해왔습니다.
사업구조
- 정밀 세정(Precision Cleaning): 챔버·샤워헤드·ESC 등 공정 핵심부품의 오염 제거 및 표면 상태 복원
- 특수 코팅(Special Coating): 파티클·미세 결손 억제, 내식·내화학성 확보를 통한 부품 수명 연장
- 공정 데이터 기반의 신뢰성 측정·검증으로 재발 방지형 개선루프 구축
경쟁사 대비 강점
- End-to-End: 세정–코팅–분석을 한 지붕에서 제공해 턴어라운드·추적성 우수
- 공정 Know-how 축적: 고객 장비·레시피별 Best Known Method(BKM) 내재화
- 친환경 신공정: CO₂ 블라스팅 등 정전기·열 민감 부품에 적합한 비접촉·저손상 세정 기술 고도화
최근 동향·투자포인트
- 선폭 미세화·EUV 확산으로 부품 세정/코팅 수요의 구조적 확대
- 고객사의 리유즈·정밀 리퍼브 트렌드 강화 → 부품 교체 CAPEX 대비 OPEX 절감 파트너로 포지셔닝
- 글로벌 거점 확장 및 인증 역량 강화로 멀티로컬 서비스 경쟁우위 공고화
2) 한솔아이원스 — ‘정밀가공+세정·코팅’ 원스톱 소부장
기업개요
한솔그룹 계열의 반도체·디스플레이 정밀부품 기업으로, 초정밀 가공과 세정·코팅을 결합한 종합 소부장 체제를 강화하고 있습니다.
최근에는 노광장비 핵심부품의 재사용(Re-use) 서비스를 통해 고객 ESG에 기여하는 모델을 추진 중입니다.
사업구조
- 정밀가공(주력) + 정밀세정/코팅(보완) 의 투 트랙
- 설계–가공–측정–세정–코팅–분석까지 원스톱 밸류체인
- 디스플레이 부품·노광 장비 부품 등으로 고객 포트폴리오 다변화
경쟁사 대비 강점
- 기계가공과 세정·코팅의 수직 통합: 리드타임·품질 일관성·원가 경쟁력
- 노광 파트 Re-use: 수명연장·폐기물 저감으로 ESG·비용 절감 효과
- 그룹 차원의 양산 품질·납기 관리 체계 보유
최근 동향·투자포인트
- 메모리 업황 반등 수혜 + 세정·코팅 가동률 상승 가시화
- 노광 부품 재사용 신사업 모멘텀, 고객군·레퍼런스 확대
- 중장기적으로 EUV/하이NA 전이에 따른 초정밀 세정·코팅 수요 확대 기대
3) 제우스(ZEUS) — Wet Cleaning 장비 포트폴리오의 ‘정면 승부’
기업개요
제우스는 반도체·디스플레이 장비 기업으로, 싱글/배치형 웨트 세정·식각 솔루션을 폭넓게 공급합니다.
ION·APOLLON·VENUS 등 300mm 싱글 웨이퍼 프로세서와 BW 등 배치형 라인업을 보유합니다.
사업구조
- 전공정 Clean/Etch/Strip 및 후공정 Flux/Etch/Debond 대응 장비
- 싱글형(고성능·고유연성) + 배치형(고생산성)의 믹스와 400mm 대응 등 확장성 확보
경쟁사 대비 강점
- 광범위한 포트폴리오: 레거시~선단 공정까지 포괄
- 300mm 싱글 멀티챔버(예: 12챔버) 구성으로 스루풋·균일도 최적화
- 전공정·후공정을 아우르는 공정 응용 노하우 축적
최근 동향·투자포인트
- 파운드리·메모리의 세정 공정 단계 증가(마스크층 수 증가) → 툴 인스톨 증가 기대
- 고객 맞춤형 프로세스 레시피·재료 호환성 확대는 세정 레시피 IP 자산화로 이어짐
- 디스플레이 회복 국면 시 후공정 세정 솔루션 수요 동시 반등 여지
4) 케이씨텍(KC Tech) — 배치 세정부터 ‘초임계’까지, 깊이 있는 웻 스페셜리스트
기업개요
케이씨텍은 배치 세정기·습식 공정장비와 CMP 등으로 알려진 국내 웻 공정 스페셜리스트입니다.
Hot IPA 워터마크 프리 건조, 파티클·균일도 스펙 등 양산 지표를 내세운 300mm 배치 세정기를 공급합니다.
사업구조
- Batch Cleaning(Front/Ⅰ Type) + 디스플레이용 웻 장비
- CMP·세정 관련 소모성/소재와의 시너지로 레시피–장비–소재 삼각편대 구축
경쟁사 대비 강점
- 배치형 대량 처리에 특화된 스루풋/원가경쟁력
- 초임계 세정 등 고난도 공정 응용 평가 이력 → 미세 패턴 내부까지 레지듀 제거 가능성 입증(국내 소수)
최근 동향·투자포인트
- 하이엔드 D램(10나노급)·HMB/패키징 미세화로 초임계 세정의 고부가 레버리지 확대
- 디스플레이 측면에선 8.6세대 FMM 세정장비 수주 이력 → OLED 대형화 사이클에서 파생 수요 기대
- 메모리 미세화·패키징 고집적화 트렌드 → 케미컬·건조·초임계 조합 레시피 포지셔닝 강화
5) 엘티씨(LTC) — 세정 장비·약액 소재의 ‘브릿지’ 플레이어
기업개요
엘티씨는 반도체·디스플레이 공정 소재(박리액 등) 및 세정 장비를 영위하는 기업입니다.
2015년 인수한 엘티씨에이엠을 통해 공정소재–장비 포트폴리오를 확장했고, CCSS(케미컬 공급) 등과 결합한 솔루션형 사업 역량을 키워왔습니다.
사업구조
- 박리액·현상액·신너 등 약액 + 세정 장비/케미컬 서플라이
- OLED 패널용 PR·고순도 Y₂O₃(이트리아) 등 유·무기 소재 포트폴리오 보유(디스플레이 중심에서 반도체로 확장)
경쟁사 대비 강점
- 소재–장비 동시 보유로 레시피 최적화–장비 매칭을 일괄 제안
- 국내 케미컬 체인과의 협업 여지, 고객 맞춤형 수율 개선 프로젝트 수행 용이
최근 동향·투자포인트
- 공정소재 국산화 심화와 친환경/수계 박리액 수요 확대는 기회 요인
- 자회사 상장 이슈 등 지배구조 이벤트는 단기 변동성이지만, 사업 본질은 수요 회복·레시피 고도화에서 결정될 전망
경쟁구도 한눈에 보기
- 서비스(부품 세정·코팅): 코미코, 한솔아이원스 → 리유즈·ESG·분석 인증이 차별화
- 장비(싱글/배치 세정): 제우스(싱글·배치 풀라인업), 케이씨텍(배치·초임계·디스플레이 FMM)
- 소재·장비 브릿지: 엘티씨(박리액/현상액 + 세정/공급 장비)
- 해외 벤치마크: TEL, Semes, JST 등 웻벤치·세정 강자들의 기술 트렌드 추격/차별화 포인트 확인
투자 관점 핵심 정리
- 코미코: 글로벌 멀티로컬 서비스·분석 인증 역량 강화. CO₂ 블라스팅 등 저손상 세정 신기술로 선단 고객 대응력 우수. 업황 회복 시 가동률·턴어라운드 개선이 이익 레버리지.
- 한솔아이원스: 정밀가공+세정·코팅 수직 통합과 노광부품 Re-use로 ESG·비용 절감 가치 제안. 메모리 반등 국면에서 세정코 가동률 상승 기대.
- 제우스: 싱글/배치 동시 보유로 고객·공정별 커버리지 넓음. 레시피 IP 축적이 장기 진입장벽. 선단 노드 증설·마스크층 증가의 구조적 수요.
- 케이씨텍: 배치 세정 스루풋·원가 강점 + 초임계 세정 모멘텀. 디스플레이 8.6세대 FMM 세정장비 트랙레코드 보유로 OLED 대형화 수혜.
- 엘티씨: 소재–장비 동시 제안의 차별화. 수계·친환경 박리액 등 신케미컬 전환 수혜 가능. 지배구조 이슈 모니터링 필요.
세정은 이제 장비–레시피–부품–코팅–분석–소재가 하나의 생태계로 맞물리는 복합 시스템 엔지니어링입니다.
본문에서 다룬 코미코·한솔아이원스·제우스·케이씨텍·엘티씨는 각각의 강점으로 국내 세정 밸류체인의 두께를 키우고 있습니다.
업황 회복 국면에서 “공정 단계 증가”와 “부품 리유즈·ESG”는 동시에 성장하는 두 축이며, 각 사의 레시피 IP·서비스 품질·고객인증이 중장기 경쟁력을 가를 것입니다.
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