웨이퍼에 빛을 이용해 반도체 회로를 그려 넣는 과정을 포토공정 또는 노광공정이라고 한다. 웨이퍼 산화막 위에 감광액(PR)을 도포하고 마스크를 통해 빛을 통과시켜 웨이퍼 위에 회로를 현상하는 과정으로 반도체 공정 중 비중이 가장 큰 공정이라고 할 수 있는데, 포토공정 속에서 쓰이는 장비와 소재 관련 기업을 알아보고자 한다.
반도체 포토공정 밸류체인
- 감광액(PR) : 동진쎄미켐, 금호석유화학
- PR원재료 : 이엔에프테크놀로지
- 블랭크 마스크 : 에스앤에스텍, SKC
- 펠리클 : 에프에스티, 에스엔에스텍
- PR Strip : 피에스케이
포토공정(감광액) 관련주 기업 분석
1. 피에스케이(319660)
- 기업개요 : 반도체 장비회사로 PR Strip장비 세계 1위 업체 이다. 주요 제품으로는 Dry Strip(PR Strip), Dry Cleaning, NHM Strip, Bevel Etch가 있다.
- 특징 : 노광, 식각공정이나 이온주입 공정 이후 남은 감광액(PR)을 제거하는 Dry Strip(PR Strip) 장비 세계 1위 이며, 시장점유율 42%이다. 낸드플래시 매출이 주 이나 시스템 반도체 쪽으로도 매출이 늘어나고 있다.
- 기업실적
| 구 분 | 2018/12 | 2019/12 | 2020/12 | 2021/12 | 2022/12 | 2023/9 |
| 매출액 | 1,546 | 2,657 | 4,458 | 4,609 | 2,432 | |
| 영업이익 | 169 | 316 | 941 | 918 | 382 | |
| 당기순익 | 150 | 223 | 767 | 774 | 335 |
- 매출비중 : 반도체 공정장비 류 59.3%, 부품 및 용역수수료 40.7%
- Dry Strip(PR Strip) : 시장규모는 약 7천억 시장
- Dry Cleaning : 건식 세정 장비, 시장 성장 기대
- NHM Strip : 하드마스크 제거(뉴하드마스크), 낸드플래시 고단화에 따른 하드마스크를 사용하여 그걸 제거하는 장비, 마이크론에 공급
- Bevel Etch : 웨이퍼 끝단에 찌꺼기를 제거하는 장비, 램리서치가 독점(해당 장비를 생산하는 참엔지니어링을 인수함), 특허소송 이슈가 있었으나 삼성전자로 납품 시작
- 밸류 : 시가총액 5,582억원, PER 7.28, PBR 1.58, 배당수익률 2.08
- 기타 : 건식식각장비 개발중으로, 램리서치와 TEL이 90%를 점유하고 있으며, 건식식각은 노광공정 다음으로 반도체 산업에서 시장규모가 크다.
2. 동진쎄미켐(005290)
- 기업개요 : 반도체 및 TFT-LCD 의 노광공정에 사용되는 Photoresist 관련 전자재료 사업과 산업용 기초 소재인 발포제 사업을 주로 영위
- 특징 : 발포제를 기반으로 성장한 기업, EUV PR개발하여 삼성전자에 22년 4분기부터 납품하고 있으며, 삼성전자 내에서 10%대의 비중을 차지하고 있는 것으로 추정
- 기업실적
| 구 분 | 2018/12 | 2019/12 | 2020/12 | 2021/12 | 2022/12 | 2023/9 |
| 매출액 | 8,272 | 8,753 | 9,378 | 11,613 | 14,572 | 9,874 |
| 영업이익 | 710 | 1,049 | 1,263 | 1,318 | 2,163 | 1,396 |
| 당기순익 | 480 | 587 | 853 | 1,029 | 1,562 | 994 |
- 매출비중 : 국내전자재료(감광액(PR)) 55.04%, 발포제 9%, 디스플레이 35%, 2차전지(CNT도전재(양극), 실리콘첨가재(음극)) 2%
- PR : Krf(낸드), Arf, ArFi, EUV(D램, 파운드리), PR 세계시장점유율 2위, 유기절연막 세계시장 1위
- 디스플레이케미칼
- 발포제 : 발포제 부문에서 세계적인 업체로 부상, UNICELL이라는 브랜드로 세계 각국에수출, 신발 및 장판지 등 건설자재, 자동차 내장제로 주로 사용
- 2차전지 : 고출력, 고용량 도전재 슬러리를 제품화, CNT 도전재 및 실리콘 음극재 개발에 힘쓰고 있음.
- 밸류 : 시가총액 1조9,975억원, PER 12.52, PBR 2.87, 배당수익률 0.33
- 기타 : 2019년 일본의 화이트리스트 중 하나인 EUV PR을 자체 개발하여 삼성전자에 납품 중이다. EUV PR의 일본 소재 비중이 90%였으나, 현재는 일본 70%, 동진쎄미켐 12% 정도이며 2025년까지 비중을 30% 목표로 하고 있다.
- 경쟁기업 : EUV PR 경쟁업체는 JSR(세계 1위, 일본에서 국유화 추진 2023년), TOK, 신에츠
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